ཧའི་ཌོ་ཕུ་ལོ་རིག་ཨེ་སིཌ་གི་དོན་ལུ་ པི་ཊི་ཨེཕ་ཨི་ གྱལ་རིམ་ཅན་གྱི་ གསོག་འཇོག་འབད་སའི་ མཛོད་ཁང་།

འཕྲུལ་རིག་ལྟེ་བ་: RANA གི་བདག་དབང་ཅན་གྱི་ PTFE རྒྱབ་སྐྱོར་འབད་མི་ ཤེལ་གྱི་ འཕྲུལ་རིག་ལག་ལེན་འཐབ་སྟེ་ ཐབས་ཤེས་འདི་གིས་ ཤེལ་དང་ལྕགས་རིགས་ཚུ་ ཟད་འགྲོ་བཏང་ཚུགས་པའི་ དངོས་པོ་ཅིག་ཨིན་མི་ hydrofluoric acid (HF) གི་ ཟད་འགྲོ་སྦོམ་སྦེ་ར་ བཏང་ཚུགསཔ་ཨིན། ཚ་དྲོད་བསྡམ་བཞག་ཐོག་ལས་ ལི་ནར་གྱིས་ མཛོད་ཁང་བཟོ་བཀོད་དང་གཅིག་ཁར་ མཐུན་སྒྲིག་མེད་པར་ གྲུབ་ཚུགསཔ་ཨིན། PTFE གི་ཁྱད་དུ་འཕགས་པའི་ ཟད་འགྲོ་འགོག་ཐབས་འདི་གིས་ HF འཕྱགས་བདའ་ནི་ལུ་ ཆ་ཚང་སྦེ་ བཀག་ཚུགས་དོ་ཡོདཔ་ལས་ HF གསོག་འཇོག་འབད་ནི་གི་དོན་ལུ་ ལྕགས་རིགས་མེན་པའི་རྒྱུ་ཆ་རྐྱངམ་ཅིག་ ཉེན་སྲུང་ཡོདཔ་ཨིན།

དོ་འགྲན་གྱི་མཐའ་མཚམས་: ཤར་རྒྱ་ནག་ཚན་རིག་དང་འཕྲུལ་རིག་གཙུག་ལག་སློབ་སྡེ་དང་མཉམ་འབྲེལ་ཐོག་ལས་ ང་བཅས་རའི་འཕྲུལ་རིག་སྡེ་ཚན་གྱིས་ ཁྱད་དུ་འཕགས་པའི་ ཨེཆ་ཨེཕ་ ཟད་འགྲོ་བཀག་ཐབས་འབད་ཚུགས་པའི་ ཐོན་སྐྱེད་ཚུ་ བཟོ་སྟེ་ཡོདཔ་ཨིན། འདི་ཡང་ བཟོ་གྲྭའི་འགོ་ཁྲིདཔ་ཚུ་གིས་ SMIC དང་ Juhua Co., Ltd. གིས་ བདེན་དཔྱད་འབད་ཡོདཔ་ཨིན། ད་རུང་ ང་བཅས་ཀྱིས་ རྒྱ་ནག་གི་ PPB/PPT-རིམ་པའི་ གཙང་སྦྲ་ཁང་མིག་སྦོམ་ཤོས་ཅིག་ ལག་ལེན་འཐབ་དོ་ཡོདཔ་ད་ དེ་ནང་ གློག་རིག་-རིམ་པའི་ གཙང་སྦྲ་གནས་ཚད་ཚུ་ མཐུན་སྒྲིག་འབད་དེ་ གློག་རིག་ཅ་ཆས་ གཙང་སྦྲ་མཐོ་དྲགས་ཚུ་ HF བཙོག་པ་ ཕན་ནུས་ཅན་སྦེ་ བཀག་ཐབས་འབདཝ་ཨིན།

ལག་ལེན་གནས་སྟངས་: གཙོ་བོ་ར་ ཕྱེད་ཀ་གློག་རྒྱུན་དང་ འོད་ཤུགས་ཚུ་རྩིས་ཏེ་ མཐོ་རིམ་-མཐའ་མའི་བཟོ་བསྐྲུན་ལས་སྡེ་ཚུ་ལུ་ ཞབས་ཏོག་སྤྲོདཔ་ཨིན། ཕྱེད་ཀ་གློག་རྒྱུན་བཏང་མི་ ཝ་ཕར་གཙང་སྦྲ་འབད་ནིའི་བྱ་རིམ་ནང་ གསོག་འཇོག་འབད་སའི་ མཛོད་ཁང་འདི་གིས་ ཝ་ཕར་ཁ་ཐོག་ལུ་ ལྕགས་གློག་རྡུལ་བཙོག་པ་ བཀག་ཐབས་ལུ་ ཨེཆ་ཨེཕ་ཐབས་ཤེས་འདི་ བརྟན་ཏོག་ཏོ་སྦེ་ བཞག་ཚུགསཔ་ཨིན། འོད་ཤུགས་ཁམས་ཕྲན་གྱི་བཟོ་རྣམ་གྱི་གནས་རིམ་ནང་ འདི་གི་མཐོ་རིམ་-གཙང་སྦྲ་ཅན་གྱི་ནང་ཐིག་འཕྲུལ་རིག་གིས་ HF ཐབས་ཤེས་གཙང་སྦྲ་ལུ་ ངེས་གཏན་བཟོཝ་ལས་ ཁམས་ཕྲན་འོད་ཤུགས་ཁམས་ཕྲན་བསྒྱུར་བཅོས་ཀྱི་ ཇོན་ཐངས་འདི་ ཡར་དྲག་བཏངམ་ཨིན།

ཚ་རིམ།: རྒྱ་ནག ཧའི་ཌོ་ཕུ་ལོ་རིག་ཨེ་སིཌ་གི་དོན་ལུ་ པི་ཊི་ཨེཕ་ཨི་གྱལ་རིམ་གྱི་ གསོག་འཇོག་འབད་སའི་ ཆུ་མཛོད་ཁང་།